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设备运行中，离子源阳极电流波动极大，0.01的阳极电流，后续处理未能发现原因，有大佬指点一下

真空镀膜机舱内护板衬板夹具等表面做铝，铜，不锈钢等金属熔射。增加金属表面吸附杂质能力，吸附镀膜仓内的杂质，有效提升镀膜品质，减少残次率，延长护板维护周期。

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真空镀膜机镀铝是在真空状态下，将铝金属加热熔融至蒸发，铝原子凝结在高分子材料表面，形成极薄的铝层。真空镀铝要求基材表面光滑、平整、厚度均匀；挺度和摩擦系数适当；表面张力大于38Dｙn/Cm2；热性能好，经得起蒸发源的热辐射和冷凝热的作用；基材含水量低于0.1%。常用的镀铝基材有聚酯（PET）、聚丙烯（PP）、聚酰胺（PA）、聚乙烯（PE）、聚氯乙烯（PVC）等薄膜，工艺要求；真空度不得低于103PA，以免出现褐色条纹或铝层厚度不均现象

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化学气相沉积过程的热力学 热力学理论计算可以使我们预测特定的某个反应或过程是否可能发生，但不能保证一定能够发生，需取决与许多动力学因素：如： 预测化学反应的可能性，反应进行的条件，方向及限度 不能预测反应进行的速度 热力学分析的基础是化学平衡，而实际反应均是偏离平衡条件