静电卡盘静电吸盘表面的平面度测量，一直是困扰大家的事情，我们提供的解决方案的更多信息。如果标准产品可能无法满足您的需求，我们可以提供定制设计。湖北德司计量

静电吸盘，又称静电卡盘（ESC, E—Chuck），是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具，适用于真空和等离子体环境，主要作用是用于吸附超洁净薄片(如硅片)，并使吸附物保持较好的平坦度，可以抑制吸附物在工艺中的变形，并能够调节吸附物的温度。 机械夹持：在早期的硅片加工中，习惯于采用传统机械行业中机械夹持方法，即采用机械活动的夹钳来夹持硅片，但夹钳会对硅片的边缘处造成损伤，同时很容易使硅片翘曲，对其加工精度有很

在现代科技日新月异的精密制造领域，半导体部件的生产无疑是一门将尖端技术与创新艺术精妙融合的高深学科。于这一关键领域之中，陶瓷卡盘真空热压成型机凭借其超凡卓越的性能表现以及坚如磐石的可靠性，已然成为了打造高质量半导体部件进程中无可替代、不可或缺的核心设备之一。 精密陶瓷乃是借助对高度提纯的优质原料实施极为精密的工艺把控而精心制造出来的一种非金属无机物质，其具备高性能与高精度的显著特质。相较于普通陶瓷

日本大明化学 TM-DAR TM-5D，用于静电卡盘的陶瓷层烧结及电极层共烧，可少量添加板状氧化铝粉末交替层叠，对晶粒生长进行取向（NTK/NGK） 另有应用于半导体设备各种零部件的耐蚀涂层的材料如下： 日本钇公司 氧化钇 氟化钇 氟氧化钇 YOF YF3 日本住友化学 AKP-15 AKP-20 AKP-30 AKP-50 AKP-53 日本住友化学 高纯氧化铝 AA-18 AA-10 AA-5 AA-3 AA-2 AA-1.5 AA-07 AA-05 AA-04 AA-03 AA-03F 主要用于半导体刻蚀设备、液晶面板、涡轮叶片等领域的耐蚀涂层的氟化钇 YF3、氟氧化钇 YOF，

Laminitt™系列静电吸附系统为解决真空状态下自动化夹持及吸附难题而开发。真空状态下现行夹持及吸附无法有效的吸附产品进行自动化加工，在这自动化加工过程中往往会损伤产品或残留污渍；尤其在显示面板行业ODF液晶滴入，LCD及OLED盖板玻璃真空贴合制程，以及太阳能电池板盖板玻璃真空贴合制程。 应用领域： 显示面板及移动电子、新能源及太阳能及其它真空及大气贴合领域。

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