绝地瓦解之后,达斯·维达成为皇帝身边最忠实的助手:透过强大的原力,他剿清躲在各地的绝地武士。同时,他掌控强大的帝国军队打垮各地的叛乱份子。可是,残酷无情的达斯·维达常为小事杀害底下的军官与战俘,也因此成为各势力最忌惮的人物。在《星球大战前传3:西斯的复仇》与《星球大战4:新希望》的这段时间里 在帝国成立第19年,皇帝宣布解散帝国议会与各省,打算用强大军力和新开发的秘密武器死星(Death Star)建立个人的恐怖政治。因此,各地纷纷组织反抗军,其中又以奥德朗星(Alderaan)公爵贝尔·奥加纳(Bail Organa)与其养女莉亚公主(Princess Leia Organa)所领导的反抗势力最为著名。这些反抗势力最后组成反抗军同盟(Rebel Alliance),平日以秘密的方式各自活动,必要时才集结对抗帝国大军。
维达
身为皇帝最重要的副手,维达自然担起剿灭叛军的任务。在次任务中,维达逮捕了他的亲生女儿莉亚公主,逼她交出反抗军偷到的死星设计图与反抗军的基地位置,同时首次使用刚落成的死星,彻底摧毁了莉亚美丽的家乡奥德朗星。后来他发现莉亚供出的情报是假的,便将其长期监禁。
但意外的,死星设计图与莉亚的求救讯息随著机器人R2-D2与C-3PO来到维达的老家塔图因星上,并辗转流入他的亲生儿子天行者卢克(Luke Skywalker)手中,因而意外激发这位拥有多项天赋的青年。经历一番冒险后,卢克与隐居的奥比旺搭乘走私者韩·索罗(Han Solo)与武技族人丘巴卡(Chewbacca)驾驶的千年隼号(Millennium Falcon)太空舰来到死星打算拯救公主。在此,达斯·维达再度与恩师交手,并在决斗中杀了奥比旺,但奥比旺得以化成绝地英灵,时时指引卢克走向绝地之路。
由于奥比旺拖住了维达,卢克与韩带著公主成功逃离死星(可他们不知道舰上已装有帝国的追踪器),并带著死星设计图回到位在雅汶四号星(Yavin 4)的反抗军基地。经过细心规画后,反抗军派出以X翼战机组成的飞行中队展开攻击死星的行动。但同时,帝国军的死星也锁定基地的位置,打算用死星将整个星球完全毁灭。而达斯·维达则亲自驾驶钛战机防卫反抗军的攻击。利用强大的原力与高超的驾驶技巧,维达击灭大多数敌机,唯独对拥有相同天赋的卢克却难以成功。就在紧要关头,韩·索罗驾驶千年隼号偷袭维达成功,维达与战机被震飞到轨道外,卢克则成功击毁死星(详细作战过程可参考雅汶战役)。
尝到败绩的维达发觉儿子的强大潜力,于是在皇帝的指示下进行拉拢卢克的计划:先以强大的火力摧毁反抗军的基地,特别是在霍斯星(Hoth)的战役几乎瓦解反抗军的战力,逼得卢克、莉亚和韩等领导者被迫四处流亡。维达又招募大批赏金猎人,并在贝斯坪星(Bespin)的“云城”布下陷阱抓住莉亚和韩,以诱骗他的猎物——在尤达培训下,即将成为绝地武士的卢克。
果然,卢克为了拯救两人而独闯此城,然后再度遭遇到他的“杀父仇人”。两人首次交锋,卢克虽然进步神速,但仍不是维达的对手。经过一番打斗,卢克被斩断右手,最后被逼入绝境;这时维达才说出一切的真相:他希望父子能联手,最后共同统治这个帝国。但卢克以行动拒绝父亲的邀请:他跳入城市的通风口,直到莉亚回航才脱离险境。
击溃反叛军后,皇帝开始计划兴建一个更大、威力更强的第二颗死星,并筹谋一举毁灭反叛军同盟的计划;同时,反叛军也开始陆续会合,准备与帝国一决雌雄。不同于上次的死星,维达接替死于第一颗死星爆炸的帝国星区首长塔金的监督工作,狡诘的皇帝则亲率大军指挥这场将来的战役。
皇帝的计划刚开始进行的很顺利:反抗军主要的战舰与领导人物都参与了这场战争,历经劫难的卢克、莉亚和韩则率领一支小队伍袭击恩多星(Endor)上提供死星保护罩能源的发电厂。不久,卢克告知莉亚两人的生世之谜后,便独自去找等待许久的达斯·维达。如皇帝所预料,这支袭击小队攻入发电厂时被附近埋伏的帝国大军逮住;新的死星虽然未完工,但火力仍足以摧毁反抗军的主力战舰,大量的帝国战机也让反抗军难以招架。至于被带到死星上的卢克被维达压制住他攻击达斯·西迪厄斯的企图,而邪恶的皇帝说出他同伴将遭遇的灾难时却无能为力。这时,皇帝的阴谋终于快达成:他已经引导卢克踏入西斯的入门:对未来的恐惧,以及对现况的愤怒。
但皇帝看似完美的阴谋却遇到了困难:愤怒的卢克与维达再次对决,维达透过原力得知原来莉亚公主是他的女儿,可愤怒的卢克却已斩下他的机械右手。这时皇帝大喜,命卢克杀掉父亲,成为他的新徒弟。卢克却收起光剑,以平静的心情拒绝皇帝的诱惑。这时愤怒的达斯·西迪厄斯发出强大的原力闪电想宰掉这个不知好歹的“失败品”。看到亲生子在面前痛苦蠕动,铁维达再也忍不下心;他用仅存的左手抓住正在施放闪电的皇帝,往通向炉心的深渊丢去。皇帝死了,达斯·维达又变回天行者阿纳金,可是皇帝强大的电流已破坏了他的维生系统,并重创他的内脏器官,安纳金注定无法活下去。年趋45岁的维达倒在儿子怀里,他要求卢克帮他脱下头盔,好好看看亲生子的长相。几句话语后,阿纳金咽下最后一口气...。
阿纳金的遗体死后便化为绝地英灵,遗留的黑色盔甲则随著卢克离开了死星。反抗军最后摧毁了死星,打赢了被称作恩多战役的关键战事。同尤达、奥比旺和天行者阿纳金的英灵出现在卢克等人面前向其道贺。达斯·维达的两次转性虽然带给他自己与身边的人极大伤害,但也印证了奎刚·金坚持他为原力带来平衡的预言。