1、优于化学药物消毒：臭氧的杀菌能力与过氧乙酸相当，并且会自行分解为氧气，不产生残留污染，消毒后不需通风换气。常规消毒均需通风换气或化学中和，麻烦而又降低消毒效果。臭氧可直接对食品使用杀菌或防霉保鲜，简单易行。
2、优于紫外线照射：
a.臭氧没有死角。紫外线只有照射到物体表面，且达到一定的照射强度标准才有杀菌效果。臭氧为气体，渗透性强，扩散性好，浓度均匀，没有死角。
b.臭氧杀菌速度快。紫外线照射杀菌需要较长的作用时间，一般要照射6小时以上，而符合标准浓度的臭氧，只需开机1小时，即可达到理想的灭菌效果。
c.高湿度下臭氧杀菌效果更好。在环境相对湿度达到60%以上时，紫外线照射消毒效果急剧下降。由于高湿度下细胞膜膨胀变薄，更容易被臭氧破坏。
3、臭氧除臭净化效果好：臭氧可快速分解有机或无机物质产生的臭味及其它气味，将臭味根源物质分解成无害物质，达到脱臭效果。
4、臭氧消毒使用成本低：小型臭氧发生器的原料为空气（或氧气），大中型臭氧发生器需加配制氧机，不需要添加其他原料，使用成本一般就是电费。
