近年来,随着我国集成电路市场及光伏产品市场的迅速增大,微电子、光电子工业的飞速发展对高纯石墨,特别对“三高石墨”需求量很大。半导体、光伏产业的发展,特别是太阳能电池用多晶硅锭材料在产量与市场方面的突飞猛进变化,都给石墨制品提供了在这两大领域一个广阔前景的新市场。它也标志着高纯、优质的石墨碳石墨材料产品由传统的应用市场向着电子工程应用市场方面新迈进。
由于碳石墨材料具有良好的耐高温性和化学稳定性,因此在单晶硅、多晶硅、砷化镓、宝石单晶等材料及制品生产过程中广泛用石墨材料制作石墨碗、石墨加热器和聚晶模,热处理模,隔热屏,保温罩,石墨盖板等。直拉单晶炉使用的石墨部件属于易损件,对各种高纯石墨加工而成的部件需求量不断增大。在生产铸锭多晶硅设备上,石墨作为加热材料,隔热材料是必不可少的配套材料。目前我国在半导体、光伏产业领域应用的石墨制品,要求大规格,高纯、高密、高强度、细颗粒,各向同性的石墨迅速增大。目前在半导体、光伏产业领域用的许多石墨制品还需要大量的依靠国外供应。这些市场的需求,导致石墨近年进口大幅的增加。这无疑是石墨工业经济发展的良机,也是石墨企业开拓新市场的重大机遇。
1. 碳石墨材料在的半导体工业中的应用
半导体的发展与石墨材料在半导体工业中的应用是分不开的。电子工程用石墨制品,首先是实现在半导体工业中得到应用。在直拉单晶炉内使用的石墨部件是一类易耗件, 它由各种高纯石墨加工而成。例如其中的石墨坩埚及其他石墨部件采用了高纯细颗粒结构石墨;石墨加热器采用了高纯各向同性石墨;石墨保温罩和石墨盖板采用高纯中颗粒结构的石墨。
在半导体硅片加工(包括区熔、外延、外形加工等)中作为辅助工具、部件;在半导体硅片用多晶硅材料的生产中为辅助工具、部件。
2.石墨制品的太阳电池应用市场概况
石墨材料具有热贯性小,可以快速加热,对高温(超过1600℃)辐射面积大,加热效率高,性能稳定,因此在生产铸锭多晶硅设备上,多个组件是需要石墨材料。特别是铸锭炉加热器中使用的加热材料——高纯石墨,以及所用的隔热材料——高纯碳毡隔热材料,都目前铸锭多晶硅设备重要的、必不缺少的配套材料。
由于铸锭炉加热器的加热温度很高(超过 1600 ℃),它的加热材料又要求不能与硅料反应、不对硅料造成污染,可长期在真空及惰性气氛中使用。符合使用条件可供选择的加热器有金属钨、钼和非金属石墨等。由于钨、钼价格昂贵,加工困难,而石墨来源广泛,可加工成各种形状。另外,石墨具有热惯性小、可以快速加热,耐高温、耐热冲击性好,辐射面积大、加热效率高、且基本性能稳定等特点。正因如此,石墨材料已成为了铸锭炉加热器中首选的加热材料。铸锭炉加热器对于隔热材料有着严格的要求。它必须是耐高温、密度低、导热小、蓄热量少、隔热效果好、放气量少、重量轻、膨胀系数小的材料。因此在众多的耐火保温材料中以高纯碳毡最为理想。
由于碳石墨材料具有良好的耐高温性和化学稳定性,因此在单晶硅、多晶硅、砷化镓、宝石单晶等材料及制品生产过程中广泛用石墨材料制作石墨碗、石墨加热器和聚晶模,热处理模,隔热屏,保温罩,石墨盖板等。直拉单晶炉使用的石墨部件属于易损件,对各种高纯石墨加工而成的部件需求量不断增大。在生产铸锭多晶硅设备上,石墨作为加热材料,隔热材料是必不可少的配套材料。目前我国在半导体、光伏产业领域应用的石墨制品,要求大规格,高纯、高密、高强度、细颗粒,各向同性的石墨迅速增大。目前在半导体、光伏产业领域用的许多石墨制品还需要大量的依靠国外供应。这些市场的需求,导致石墨近年进口大幅的增加。这无疑是石墨工业经济发展的良机,也是石墨企业开拓新市场的重大机遇。
1. 碳石墨材料在的半导体工业中的应用
半导体的发展与石墨材料在半导体工业中的应用是分不开的。电子工程用石墨制品,首先是实现在半导体工业中得到应用。在直拉单晶炉内使用的石墨部件是一类易耗件, 它由各种高纯石墨加工而成。例如其中的石墨坩埚及其他石墨部件采用了高纯细颗粒结构石墨;石墨加热器采用了高纯各向同性石墨;石墨保温罩和石墨盖板采用高纯中颗粒结构的石墨。
在半导体硅片加工(包括区熔、外延、外形加工等)中作为辅助工具、部件;在半导体硅片用多晶硅材料的生产中为辅助工具、部件。
2.石墨制品的太阳电池应用市场概况
石墨材料具有热贯性小,可以快速加热,对高温(超过1600℃)辐射面积大,加热效率高,性能稳定,因此在生产铸锭多晶硅设备上,多个组件是需要石墨材料。特别是铸锭炉加热器中使用的加热材料——高纯石墨,以及所用的隔热材料——高纯碳毡隔热材料,都目前铸锭多晶硅设备重要的、必不缺少的配套材料。
由于铸锭炉加热器的加热温度很高(超过 1600 ℃),它的加热材料又要求不能与硅料反应、不对硅料造成污染,可长期在真空及惰性气氛中使用。符合使用条件可供选择的加热器有金属钨、钼和非金属石墨等。由于钨、钼价格昂贵,加工困难,而石墨来源广泛,可加工成各种形状。另外,石墨具有热惯性小、可以快速加热,耐高温、耐热冲击性好,辐射面积大、加热效率高、且基本性能稳定等特点。正因如此,石墨材料已成为了铸锭炉加热器中首选的加热材料。铸锭炉加热器对于隔热材料有着严格的要求。它必须是耐高温、密度低、导热小、蓄热量少、隔热效果好、放气量少、重量轻、膨胀系数小的材料。因此在众多的耐火保温材料中以高纯碳毡最为理想。