【arduino】UNO接步进电机，通过timerOne定时器中断调速问题

我用UNO连接了一个工业步进电机，希望能输入高频率来驱动电机快速转动，用PWM的话，频率被限定在几个值上，不满足任意调速的要求，因此使用了timerOne库，通过定时器中断来翻转数字IO输出实现方波的输出，程序如下： #include <TimerOne.h>
void setup() {
pinMode(13, OUTPUT);
Timer1.initialize(100000);//设置定时器中断时间，基本单位为微秒，如设置为100000，则定时时间为0.1秒，频率为10Hz。
Timer1.attachInterrupt(timerIsr ); // 设置用户自定义的定时器中断服务函数，每发生一次定时器中断，均会执行一次定时器中断服务函数。
}
void loop(){
//主函数，用于执行非周期性任务
}
void timerIsr(){
// 反转I/O口电平
digitalWrite( 13,digitalRead( 13 ) ^ 1 );
}
问题是：我通过更改Timer1.initialize（）的值来调速，接了一个示波器读取PIN13的频率，发现当Timer1.initialize（）的值在15us以下时，频率就保持15us时的值不再变了，假设我希望能用到1us的定时中断，该如何处理？