5.6各种器材、用具的静电性能
5.6.1ESD防护工作台面
除非制造工艺要求需要使用导(静)电工作台面,EPA内的ESD防扩工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。推荐工作台面尺寸为1200mm×600mm。ESD防护工作台面的对地电阻和表面(点对点)电阻要求见表1。对地电阻测量原理按SJ/T10694的图7,测量电表的一端接到腕带接地插孔上,另一个电极距此0.9m,测量5个点(测量电极以0.9m为半径的绕接地插孔旋转移动),取其平均值。表面(点对点)电阻测量原理按SJ/T106409的图6a,二测试电极相距0.9m,共测量5组数据取平均值。测量时一个电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动。
表1EPA内各种器材的静电性能要求
物品 章条号 表面(点对点)电阻或端以端电阻 对地电阻 穿戴状态下对地电阻 说明
工作台面 5.6.1 7.5x105~1.0x1010 7.5x105~1.0x109 —— ——
地板、地垫 5.6.2 1x105~1.0x1010 1x105~1.0x109 —— ——
腕带 5.6.3 —— ≤1.0x105 —— 从内表面对地测量
—— —— 7.5x105~3.5x107 ——
7.5x105~5.0x106 —— —— 腕带连线端对端测量
鞋束 —— 5x104~1.0x108 ——
存放架,运输小车 5.6.4 7.5x105~1.0x1010 7.5x105~1.0x109 —— ——
周转容器 5.6.5 7.5x105~1.0x1010 —— —— ——
工作椅 5.6.6 ≤1.0x1010 7.5x105~1.0x109 —— ——
工作服 5.6.8 1x105~1.0x1010 1.0x105~1.0x1010 —— ——
防静电鞋、袜 5.6.9 —— —— 5x104~1.0x1010 双脚测量
手套、指套 5.6.10 —— —— 7.5x105~1.0x1010 单只测量