偏压电源问题【真空镀膜吧】

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脉冲偏压电源 Ar气 0.3-2.0 Pa 150 V 占空比0.5-1均无法起辉，有电压无电流求好人指点谢谢

送TA礼物

IP属地:辽宁

来自Android客户端1楼2017-05-08 23:01回复

顶起

IP属地:辽宁

来自Android客户端3楼2017-05-28 23:24

电压太低，真空太高

IP属地:广东

来自Android客户端4楼2017-06-07 08:54

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好的谢谢您我这几天再试试我的脉冲偏压电源最好就能到120V 我可否将直流电源接到样品台上完成溅射清洗过程呢？谢谢！

IP属地:辽宁

来自Android客户端5楼2017-06-08 23:03

150伏是看不到辉的吧？我们这里都是300伏以上才起辉。

IP属地:四川

6楼2017-06-13 17:20

真空度在2~6Pa

IP属地:四川

7楼2017-06-13 17:21

收起回复

输出太小

来自Android客户端8楼2019-09-07 18:49

楼上说的都对，能量太低，不能击穿气体形成等离子体，有很多种方式，最简单的就是加偏压，多加气体

IP属地:广东

10楼2021-12-18 17:30

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