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晶圆外观检测显微镜

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晶圆是制作IC最基础的半导体材料,晶圆的质量将直接决定IC成品的质量好坏。由于工艺水平不同,晶圆可能会在生产阶段产生冗余物、晶体缺陷和机械损伤三种缺陷。因此,高效准确的检测设备,是提供高可靠性晶圆材料的保证。相较于传统人工检测而言,机器视觉检测具有精度高、效率高、可连续性以及非接触式避免污染等优势。

华显光学HXJ-203系列正置金相显微镜适用于对不透明物体进行显微观察。本仪器配置落射照明器、长距平场消色差物镜(无盖玻片)、大视野目镜和内置偏光观察装置,具有图像清晰、衬度好,操作方便等特点,是金属学、矿物学、精密工程学、电子学等研究的理想仪器。适用于学校、科研、工厂等部门使用。
性能特点
配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片),视场大而清晰。
粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值:2μm。
6V 20W卤素灯,亮度可调。
三目镜筒,可自由切换正常观察与偏光观察,可进行100%透光摄影


1楼2019-01-17 16:14回复