测量被测物时所使用的的测试治具中存在残留成分，可以使用如图所示的等效电路来表示。因此，测量值Zm如下表示为包含残留成分的公式。为了求得真值Zx，需要求出开路残留成分和短路残留成分对测量值进行补偿。此类补偿分别被称为开路补偿、短路补偿，LCR测试仪就具备这类功能。
Zm：
测量值
Zs：
短路残留阻抗（Rs：残留电阻、Ls：残留电感）
Yo：
开路残留导纳（Go：残留电导、Co：杂散电容）
Zx：
真值（被测物的阻抗）