超纯水设备系统主要是对原水进行预处理及精处理，以达到去除水中的有机物、无机物、胶体、溶解性离子、颗粒物，满足终端用户超纯水水质要求。
　　超纯水设备是反渗透系统跟离子交换混床或edi相结合配套使用，是目前制取高纯水工艺流程中非常重要的手段。而反渗透系统是其中的重要组成部分，并且也是超纯水设备运行中比较容易出问题的一个环节部分。
　　超纯水设备功能作用
　　(1)砂滤器，功能作用：初步去除水中泥沙、杂质、悬浮物以及其它微粒等降低水的浊度。
　　(2)碳滤器，功能作用：利用碳的吸附原理吸附水中异色、异味、余氯等。
　　(3)软水器，功能作用：置换水中钙镁离子，降低水的硬度。
　　(4)反渗透主机，功能作用：主要是通过反渗透过滤，达到生产纯水之目的。
　　(5)核能混床，功能作用：进一步提升水质，保证出水符合要求。