超纯水设备是反渗透设备跟离子交换混床或edi相结合配套使用，离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制取高纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。 当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子，与交换柱中的阳树脂H+离子和阴树脂OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求。
　　超纯水设备制水技术优势
　　电子半导体工业在生产过程中对于超纯水的需求量也非常大，采用反渗透+edi技术制取半导体工业用水主要有如下优势：
　　1. 无需酸碱再生： 在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生， 且需要安全储存酸碱的车间, 再生时有大量有害废水和废弃物需处理，增加了环保和安全方面的工作困难。 而edi则消除了这些有害物质的处理和繁重的工作。保护了环境。
　　2. 连续、简单的操作： 在混床中由于每次再生和水质量的变化，使操作过程变得复杂，而edi的产水过程是稳定的连续的，产水水质是恒定的，没有复杂的操作程序，操作大大简便化。
　　3. 降低了安装的要求：edi系统与相当处理水量的混床相比，有较小的体积，它采用积木式结构，可依据场地的高度灵活地构造。模块化的设计，使edi在生产工作时能方便维护。