陈朋1,满卫东1,2,吕继磊1,朱金凤1,董维1,汪建华1,2(1.武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430074;2.武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室,湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点实验室,湖北武汉430074)
摘要:通过MPCVD法在高掺杂硅衬底上生长掺硼金刚石膜(BDD),并用四探针,扫描电镜,激光拉曼,电化学工作站对其进行了检测,发现所制备的掺硼金刚石膜电导率达10-2Ψ·cm,同时发现金刚石膜质量因硼原子的掺入而有所下降,采用循环伏安法研究其电化学性质,结果表明,与Pt电极相比(1.8V和-1×10-3～3×10-4A),BDD具有很宽的电化学窗口(～3.2V),较低的背景电流(-3×10-6～2×10-6A),在铁氰化钾电解液中,表面所进行的电化学反应具有较好的准可逆性,在对有机物苯酚的催化氧化检测中发现:与Pt电极相比,BDD电极氧化能力强,且氧化产物简单、彻底,因此可以作为一种理想的电极材料.关键词:化学气相沉积;掺硼金刚石膜;电化学;循环伏安法中图分类号:O472;O646文献标识码:Adoi:10.3969/j.issn.1674-2869.2010.12.017
摘要:通过MPCVD法在高掺杂硅衬底上生长掺硼金刚石膜(BDD),并用四探针,扫描电镜,激光拉曼,电化学工作站对其进行了检测,发现所制备的掺硼金刚石膜电导率达10-2Ψ·cm,同时发现金刚石膜质量因硼原子的掺入而有所下降,采用循环伏安法研究其电化学性质,结果表明,与Pt电极相比(1.8V和-1×10-3～3×10-4A),BDD具有很宽的电化学窗口(～3.2V),较低的背景电流(-3×10-6～2×10-6A),在铁氰化钾电解液中,表面所进行的电化学反应具有较好的准可逆性,在对有机物苯酚的催化氧化检测中发现:与Pt电极相比,BDD电极氧化能力强,且氧化产物简单、彻底,因此可以作为一种理想的电极材料.关键词:化学气相沉积;掺硼金刚石膜;电化学;循环伏安法中图分类号:O472;O646文献标识码:Adoi:10.3969/j.issn.1674-2869.2010.12.017
