压电直线纳米位移台-国产精密位移台-填补国内空白
压电直线纳米位移台MF30-40A尺寸参数
外形尺寸(长*宽*高) 53.2*30*10.5 mm
台面平面度 10 μm
总重量 60 g
材料
机身 铝合金 /
驱动 PZT压电陶瓷 /
驱动机构 铍青铜 /
导线 屏蔽线,铜线 /
粗调模式
运动范围 ±20 mm
运动步进 50~2000 nm
速度上限 3 mm/s
细调模式
细调步进 0.05 nm
细调范围 3000 nm
闭环运动
重复定位精度 20 nm
分辨率 2 nm
负载
垂直运动方向负载 20 N
沿运动方向负载 4 N
操作环境
操作温度 -20~80 ℃
是否适用真空 是 /
其它
控制类型 开环/闭环 /
运动分辨率 0.05 nm
驱动电压上限 125 V
东莞市卓聚科技有限公司15301310116
原地址:http://www.jooin-tech.com/products/detail/1070.html
压电直线纳米位移台MF30-40A尺寸参数
外形尺寸(长*宽*高) 53.2*30*10.5 mm
台面平面度 10 μm
总重量 60 g
材料
机身 铝合金 /
驱动 PZT压电陶瓷 /
驱动机构 铍青铜 /
导线 屏蔽线,铜线 /
粗调模式
运动范围 ±20 mm
运动步进 50~2000 nm
速度上限 3 mm/s
细调模式
细调步进 0.05 nm
细调范围 3000 nm
闭环运动
重复定位精度 20 nm
分辨率 2 nm
负载
垂直运动方向负载 20 N
沿运动方向负载 4 N
操作环境
操作温度 -20~80 ℃
是否适用真空 是 /
其它
控制类型 开环/闭环 /
运动分辨率 0.05 nm
驱动电压上限 125 V
东莞市卓聚科技有限公司15301310116
原地址:http://www.jooin-tech.com/products/detail/1070.html