1)照明系统的合轴与消像散
①电子枪的调整;
②聚光镜的合轴调整;
③聚光镜消像散。
2)成像系统的合轴与消像散
①物镜的电压中心的调整;
②物镜消像散;
③中间像消像散;
④投影镜合轴调整。
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①电子枪的调整;
②聚光镜的合轴调整;
③聚光镜消像散。
2)成像系统的合轴与消像散
①物镜的电压中心的调整;
②物镜消像散;
③中间像消像散;
④投影镜合轴调整。
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