微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
静电驱动的能量密度较小，当结构需要比较大的工作位移（微米级），就必须增大驱动电压，驱动电压甚至达到上百伏。Aigtek推出的ATA-3000系列功率放大器输出功率可达810Wp ，电流输出可达18Ap 带宽（-3dB）高达DC~100KHz。满足mems传感器领域的需求。
与传统的传感器相比，采用微电子和微机械加工技术制造出来的 MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点，在测试测量领域的应用也极为广泛。
ATA--3000系列产品参数：

传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器，按种类分主要有:面阵触觉传感器、谐振力敏感传感器、微型加速度传感器、真空微电子传感器等。传感器的发展方向是阵列化、集成化、智能化。