经世界各大光伏行业设备供应商的不断研究，发现低压扩散技术优势非常明显，经过行业内技术研发人员的不懈努力，低压扩散逐渐成为下一代高性能扩散炉的核心技术。
它对156~162mm尺寸的电池片在每批次产能高达1000片/管甚至更高的情况下，其扩散方块电阻均匀性仍优于4%，与常压扩散炉相比片均能耗降低50%以上，化学品消耗降低更是超过50%，也不用额外增加工艺时间，是高品质扩散的首选与环境友好型的生产方式。
低压扩散炉是在常压闭管扩散炉
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的基础上，增加真空控制系统、源压力控制系统等一系列强化功能，在真空环境下（绝对压力50~200mbar）进行掺杂扩散，简单来说，低压扩散炉是在常规闭管扩散炉的基础上进行全面升级强化。
但由于反应尾气富含五氧化二磷，遇到水蒸气后快速生成偏磷酸，偏磷酸甚至可以腐蚀316L不锈钢，在高达800℃以上的条件下，使用非金属材料密封真空系统，是低压扩散炉制造的核心难点技术。
由于引入了真空反应系统，这会增大气体的分子自由程，而且大幅减少湍流的产生，从而得到大幅改善的扩散方阻均匀性，这是低压扩散炉有别于常规闭管扩散炉的优势。