扩散炉有垂直扩散炉（vertical）和水平扩散炉（horizontal）两种类型。
垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面，更加有利于机械手传送硅片，片内工艺参数一致性更好。
水平扩散炉水平扩散炉是石英舟平行于水平面，一台可以4个或4个以上的工艺炉管，平均炉管占地面积更小，片间的工艺参数较垂直扩散炉更好。
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