1、热式气体质量流量计响应慢 热式气体质量流量计的响应慢，时间常数一般在 2~5s较快者为 0.5s有些型号长达十几秒到几十秒。
2 、易产生液体凝结的管道处不宜安装热式气体质量流量计，由于热式气体质量流量计的测量原理是利用热扩散技术，即测量信号大小依赖于气体的冷却速度 因此在易产生液体凝结的管道处不宜安装热式气体流量计有些情况下，难免有液滴附着在传感头上因此应使传感头朝上安装，以避免凝结液流到传感头上。
3 、混合气的变化对热式气体质量流量计的质量流量测量也有影响。对于被测量气体组分变化较大的场所 因 cp 值和热导率变化， 测量值会有较大变化而产生误差 对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量对于热分布式，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值 必须定期清洗。