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指标：
最小可检漏率：5×10-13pa.m3/s
漏率显示范围：1×10-3～1×10-13pa.m3/s
启动时间：≤2min
响应时间：＜0.5s
检漏口最高工作压：1500pa
前级泵抽速：16m3/h（干泵、油泵、抽速可选）
配置：
德国普发分子泵Splitflow 80
德国宝帝电磁阀，0256
双铱丝离子源，
渗氦型标准漏孔（10-8 Pa·m3/s,温度修正3/℃，带校准证书）
机械泵莱宝D16c
真空计德国英福康PSG500