光科真空科技（泰兴）有限公司半导体装备制造项目一阶段竣工环境保护自主验收意见
2021年8月7日，光科真空科技（泰兴）有限公司依据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》（国环规环评〔2017〕4号）、《建设项目竣工环境保护验收技术指南-污染影响类》、《光科真空科技（泰兴）有限公司半导体装备制造项目环境影响报告表》及环评审批意见等文件要求，组织召开了光科真空科技（泰兴）有限公司半导体装备制造项目一阶段竣工环境保护自主验收会。会议成立了验收组：光科真空科技（泰兴）有限公司、上海王奇实业有限公司（验收监测单位）及邀请的2名专家（名单附后）。
验收组听取了环保设施建设、运行、生产及监测情况的介绍，现场核查了项目建设运营期环保工作落实情况，查阅了建设项目环境保护验收资料，形成以下验收意见：
一、工程建设基本情况
（一）建设地点、规模、主要建设内容
光科真空科技（泰兴）有限公司位于泰兴市黄桥工业园区致富南路西侧、军民路北侧。公司于2016年报批有半导体装备制造项目，目前本项目已建成投产，已通过验收。在建设过程中，增加了喷砂处理工序，配套布袋除尘器处理喷砂粉尘后通过15米高2#排气筒排放。2020年4月编制环境影响报告表进行重新报批，2020年5月22日取得泰州市行政审批局环评批复，文号为：泰行审批（泰兴）[2020]20164号。2020年12月开工建设，2021年4月建成投产。产能保持不变为半导体装备制造，该项目已经于2021年5月22日通过了竣工环境保护自主验收。
2020年8月，公司在厂区拟扩建半导体装备制造项目（二期工程），建设规模及内容：（1）拟扩建2号生产车间，新建3号生产车间、4号生产车间、1栋办公楼，总建筑面积为10000平方米；（2）拟新增2台六轴五面落地镗铣加工中心、1台车铣加工中心、2台龙门加工中心、1套喷漆房、1套喷塑房、1套电加热烘干房等设备，项目达产后可年产薄膜太阳能设备主体配件2000台/套，LED显示设备主体配件2500台/套，ITO导电玻璃设备主体配件500台/套。并于2020年8月23日取得泰兴市行政审批局的批复（泰行审批（泰兴）[2020]20300号）。在二期工程项目建设过程中，因市场需要拟新增热处理工艺和等离子喷涂工艺，产生淬火废气和粉尘，并同步新增相关环保设施，需要重新报批环评，并于2020年12月21日取得泰兴市行政审批局的批复（泰行审批（泰兴）[2020]20461号）。
项目（二期工程）实际建设情况为：目前已经扩建2号生产车间，新建4号生产车间，新增1套喷漆房，其余主体工程、公用辅助环保工程暂缓建设。项目达产后产能不变，年产薄膜太阳能设备主体配件2000台/套，LED显示设备主体配件2500台/套，ITO导电玻璃设备主体配件500台/套。
（二）建设过程及环保审批情况
2020年12月，光科真空科技（泰兴）有限公司委托无锡胜莱环境咨询服务有限公司编制了项目环境影响报告表，2020年12月21日通过泰州市行政审批局审批（泰行审批（泰兴）[2020]20461号）。项目于2021年1月开工，一阶段2021年4月建成生产。
（三）投资情况
项目一阶段总投资800万元，其中环保投资20万元，占总投资的2.3%。
（四）验收范围
半导体装备制造项目一阶段（扩建2号生产车间，新建4号生产车间，新增1套喷漆房以及相关配套环保设施）。
二、工程变动情况
项目一阶段无重大变动。
三、环境保护设施建设情况
（一）废水
项目一阶段不新增人员，不新增生活污水；喷枪清洗废水回用于调漆，水帘废水定期更换，作为危废委托资质单位处置，不外排，项目一阶段无废水排放。
（二）废气
项目一阶段调漆、喷漆及晾干废气收集经“水帘+除雾+活性炭吸附+UV光氧催化”装置处理后通过3#15m高排气筒排放，未收集的废气无组织排放。
（三）噪声
项目一阶段主要噪声源为喷漆房配套设施、风机等运转产生的噪声，企业采取基础减震、建筑隔声、合理布局等措施降低噪声对周围环境的影响。
（四）固废
项目一阶段产生的固废主要为废包装桶、漆渣及污泥、废活性炭、废UV灯管、废催化板、水帘废水，委托有资质单位处置。
四、环保设施调试效果
上海王奇实业有限公司出具的验收检测报告[T-202100703006J/JSB]结果表明，验收监测期间：
（一）废气
项目一阶段3#排气筒颗粒物排放浓度和排放速率符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准，VOCs排放浓度和排放速率符合天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）表1标准；
厂界无组织排放的颗粒物浓度符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值，厂房外监控点非甲烷总烃排放浓度符合《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）表2无组织排放限值。
（二）噪声
项目一阶段昼、夜间噪声监测值符合《工业企业厂界噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中3类标准。
（三）固废
项目一阶段产生的固废主要为废包装桶、漆渣及污泥、废活性炭、废UV灯管、废催化板、水帘废水，委托有资质单位处置。
五、验收结论
项目一阶段在实施过程中执行了环保“三同时”制度，落实了环境影响报告表及审批意见要求，验收组同意光科真空科技（泰兴）有限公司半导体装备制造项目一阶段通过竣工环境保护验收。
六、后续要求
1、加强污染防治措施运行管理，规范存储、处置固体**，确保各类污染物稳定达标排放；
2、完善验收监测报告表及相关支撑材料，项目通过验收后规范验收档案建设，及时登记公示验收资料。
七、其他
公示日期：2021年8月13日-2021年9月10日
2021年8月7日，光科真空科技（泰兴）有限公司依据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》（国环规环评〔2017〕4号）、《建设项目竣工环境保护验收技术指南-污染影响类》、《光科真空科技（泰兴）有限公司半导体装备制造项目环境影响报告表》及环评审批意见等文件要求，组织召开了光科真空科技（泰兴）有限公司半导体装备制造项目一阶段竣工环境保护自主验收会。会议成立了验收组：光科真空科技（泰兴）有限公司、上海王奇实业有限公司（验收监测单位）及邀请的2名专家（名单附后）。
验收组听取了环保设施建设、运行、生产及监测情况的介绍，现场核查了项目建设运营期环保工作落实情况，查阅了建设项目环境保护验收资料，形成以下验收意见：
一、工程建设基本情况
（一）建设地点、规模、主要建设内容
光科真空科技（泰兴）有限公司位于泰兴市黄桥工业园区致富南路西侧、军民路北侧。公司于2016年报批有半导体装备制造项目，目前本项目已建成投产，已通过验收。在建设过程中，增加了喷砂处理工序，配套布袋除尘器处理喷砂粉尘后通过15米高2#排气筒排放。2020年4月编制环境影响报告表进行重新报批，2020年5月22日取得泰州市行政审批局环评批复，文号为：泰行审批（泰兴）[2020]20164号。2020年12月开工建设，2021年4月建成投产。产能保持不变为半导体装备制造，该项目已经于2021年5月22日通过了竣工环境保护自主验收。
2020年8月，公司在厂区拟扩建半导体装备制造项目（二期工程），建设规模及内容：（1）拟扩建2号生产车间，新建3号生产车间、4号生产车间、1栋办公楼，总建筑面积为10000平方米；（2）拟新增2台六轴五面落地镗铣加工中心、1台车铣加工中心、2台龙门加工中心、1套喷漆房、1套喷塑房、1套电加热烘干房等设备，项目达产后可年产薄膜太阳能设备主体配件2000台/套，LED显示设备主体配件2500台/套，ITO导电玻璃设备主体配件500台/套。并于2020年8月23日取得泰兴市行政审批局的批复（泰行审批（泰兴）[2020]20300号）。在二期工程项目建设过程中，因市场需要拟新增热处理工艺和等离子喷涂工艺，产生淬火废气和粉尘，并同步新增相关环保设施，需要重新报批环评，并于2020年12月21日取得泰兴市行政审批局的批复（泰行审批（泰兴）[2020]20461号）。
项目（二期工程）实际建设情况为：目前已经扩建2号生产车间，新建4号生产车间，新增1套喷漆房，其余主体工程、公用辅助环保工程暂缓建设。项目达产后产能不变，年产薄膜太阳能设备主体配件2000台/套，LED显示设备主体配件2500台/套，ITO导电玻璃设备主体配件500台/套。
（二）建设过程及环保审批情况
2020年12月，光科真空科技（泰兴）有限公司委托无锡胜莱环境咨询服务有限公司编制了项目环境影响报告表，2020年12月21日通过泰州市行政审批局审批（泰行审批（泰兴）[2020]20461号）。项目于2021年1月开工，一阶段2021年4月建成生产。
（三）投资情况
项目一阶段总投资800万元，其中环保投资20万元，占总投资的2.3%。
（四）验收范围
半导体装备制造项目一阶段（扩建2号生产车间，新建4号生产车间，新增1套喷漆房以及相关配套环保设施）。
二、工程变动情况
项目一阶段无重大变动。
三、环境保护设施建设情况
（一）废水
项目一阶段不新增人员，不新增生活污水；喷枪清洗废水回用于调漆，水帘废水定期更换，作为危废委托资质单位处置，不外排，项目一阶段无废水排放。
（二）废气
项目一阶段调漆、喷漆及晾干废气收集经“水帘+除雾+活性炭吸附+UV光氧催化”装置处理后通过3#15m高排气筒排放，未收集的废气无组织排放。
（三）噪声
项目一阶段主要噪声源为喷漆房配套设施、风机等运转产生的噪声，企业采取基础减震、建筑隔声、合理布局等措施降低噪声对周围环境的影响。
（四）固废
项目一阶段产生的固废主要为废包装桶、漆渣及污泥、废活性炭、废UV灯管、废催化板、水帘废水，委托有资质单位处置。
四、环保设施调试效果
上海王奇实业有限公司出具的验收检测报告[T-202100703006J/JSB]结果表明，验收监测期间：
（一）废气
项目一阶段3#排气筒颗粒物排放浓度和排放速率符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准，VOCs排放浓度和排放速率符合天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）表1标准；
厂界无组织排放的颗粒物浓度符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值，厂房外监控点非甲烷总烃排放浓度符合《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）表2无组织排放限值。
（二）噪声
项目一阶段昼、夜间噪声监测值符合《工业企业厂界噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中3类标准。
（三）固废
项目一阶段产生的固废主要为废包装桶、漆渣及污泥、废活性炭、废UV灯管、废催化板、水帘废水，委托有资质单位处置。
五、验收结论
项目一阶段在实施过程中执行了环保“三同时”制度，落实了环境影响报告表及审批意见要求，验收组同意光科真空科技（泰兴）有限公司半导体装备制造项目一阶段通过竣工环境保护验收。
六、后续要求
1、加强污染防治措施运行管理，规范存储、处置固体**，确保各类污染物稳定达标排放；
2、完善验收监测报告表及相关支撑材料，项目通过验收后规范验收档案建设，及时登记公示验收资料。
七、其他
公示日期：2021年8月13日-2021年9月10日
