一般在百级-万级的半导体洁净室平面装修,都要依据人流和物流净化流向来精确规划布局平面。工作人员的净化路线为:入口→换鞋→更换外出服→洗浴→清洁走廊→二次洗浴→换洁净服→风淋室→洁净生产区。物品的净化路线为: 入口→原料库→粗洁净→传递窗→精洁净→传递窗→洁净生产区→传递窗→包装→成品库。
像半导体百级洁净室工段区域需要做到密封的状态,洁净室需维持一定的正压,保证洁净室不受污染或少受污染,以维持其洁净度。 我们当时是找的CEIDI西递做的,他们经过大量的冷热负荷计算、风量平衡计算,工程安装、调试都很合理,整个百级洁净室净化系统一直都是正常运行。他们总部在上海,你可以找他们。
像半导体百级洁净室工段区域需要做到密封的状态,洁净室需维持一定的正压,保证洁净室不受污染或少受污染,以维持其洁净度。 我们当时是找的CEIDI西递做的,他们经过大量的冷热负荷计算、风量平衡计算,工程安装、调试都很合理,整个百级洁净室净化系统一直都是正常运行。他们总部在上海,你可以找他们。