在现代整流电子二极管硅芯片生产制造的工厂中,生产线需要一个洁净的环境,才能保证硅芯片产品质量。本文以EPC工程(总承包)集成服务商CEIDI西递的某项目为例,具体谈谈电子整流二极管硅芯片洁净车间设计要点。
该项目硅芯片洁净车间采用新型保温材料EPS隔热夹芯板,这种夹芯板是用高强度粘接剂,将内外两层彩色钢板与自熄型聚苯乙烯泡沫板加压、加热复合而成的新型建筑板材 ,由底材、化学转化层、锌层、底漆、正面漆、保护膜等结构组成,具有热传导慢、保温效果好等特点,有利于洁净车间的节能降耗 。
CEIDI西递在设计时以控制微粒和浮尘为主要对象,同时依据相关规范结合硅片生产工艺对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等受控条件做相关设计。硅芯片洁净车间的净化系统需要自动控制程度相当高,例如,用新风机组MAU-1、2来保证净化车间的湿度控制,控制新风机组送风状态点,根据送风状态设定值来调节干蒸汽加湿器的电动执行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度。露点温度DPT由检查室内湿度敏感元件HE连续整定;用循环机组AHU来保证净化车间的温度控制,根据室内温度来调节表冷器回水管上的电动二通阀的开度。
该项目硅芯片洁净车间采用新型保温材料EPS隔热夹芯板,这种夹芯板是用高强度粘接剂,将内外两层彩色钢板与自熄型聚苯乙烯泡沫板加压、加热复合而成的新型建筑板材 ,由底材、化学转化层、锌层、底漆、正面漆、保护膜等结构组成,具有热传导慢、保温效果好等特点,有利于洁净车间的节能降耗 。
CEIDI西递在设计时以控制微粒和浮尘为主要对象,同时依据相关规范结合硅片生产工艺对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等受控条件做相关设计。硅芯片洁净车间的净化系统需要自动控制程度相当高,例如,用新风机组MAU-1、2来保证净化车间的湿度控制,控制新风机组送风状态点,根据送风状态设定值来调节干蒸汽加湿器的电动执行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度。露点温度DPT由检查室内湿度敏感元件HE连续整定;用循环机组AHU来保证净化车间的温度控制,根据室内温度来调节表冷器回水管上的电动二通阀的开度。