FL 系列探针台 功能/型号 FL-6 FL-8 FL-12 样品台尺寸 6 英寸 8 英寸 12 英寸 样品吸附方式 真空吸附 样品台旋转 360 度旋转，±10 度微调 样品台升降 有,10mm 升降行程 样品台行程 155mm*155mm 210mm*210mm 310mm*310mm 样品台移动精度 2um 显微镜固定 龙门架结构，提高显微镜的移动精度 显微镜移动行程 50mm*50mm 显微镜类型 单筒显微镜、体视显微镜、金相显微镜 显微镜倍率 最大 2000X 显微镜移动 平移台精密移动 针座平台 U 型结构，可兼容探针卡 针座平台升降 可快速升降 10mm，微调升降 20mm 探针座数量 8 个 10 个 10 个 探针座移动行程 12mm*12mm*12mm 探针座移动精度 5um/2um/1um/0.7um/0.5um 探针夹具 同轴线缆/三轴线缆 接头类型 三轴接头/同轴接头/香蕉头/射频接头等 探针 钨钢或者铍铜，针尖半径可选 可搭配仪器 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 其他附件 高温配置、镀金样品台、屏蔽箱、光学平台、转接头、转接线