常见的三种真空法兰分别为：CF法兰、ISO法兰、KF法兰。CF法兰一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤。适用的真空度最高达10-12mbar，CF法兰通常为304/316不锈钢等，密封件一般为Viton、PTFE、铜等。
ISO-KF是应用在真空系统中的一种快卸法兰，适用的真空度最高达10-8mbar，其真空接头是适用于超高真空场合的接头。它是由两个成对称分布的KF法兰、O-Ring、定心支架、卡箍构成，只需要简单的用手拧动碟形螺母就可以松开或压紧连接。ISO-KF法兰通常为304/316不锈钢等，密封件一般为Viton、Buna、Silicone、EPDM、铝等。