半导体气体传感器是一种利用半导体电阻变化来检测气体的传感器。气体传感器广泛应用于家庭和工厂的可燃气体泄漏检测装置，适用于甲烷、液化气体、氡等检测。
半导体技术传感器具有成本低、技术门槛低、适用范围广的特点，MEMS随着工艺的推广，半导体气体传感器完成了微型化、低功耗、大批量制造，大大提高了产品的一致性。半导体气体传感器成本低，制造简单，应用广泛，但也容易受到背景气体和温度的影响，选择性差，稳定性差，功耗高。
传感器是中国强基础工程的核心组成部分之一，是实现产业转型升级、提高产品质量和可靠性的重要组成部分。中国越来越重视传感器，并出台了一系列支持传感器产业发展的政策。

中国传感器市场规模不断增长。数据显示，2020年中国传感器市场规模将从2016年的1419亿元增长到2189亿元，在2021年中国传感器市场规模将达到2951.8亿元，到2022年市场规模将进一步增长到3150亿元。
随着工业生产和科学研究对传感器性能要求的逐步提高，MEMS技术在传感器制造业中可能发挥着越来越重要的作用。MEMS机器微型化和传感器集成的趋势也在促进工业生产部件、精密设备、系统和子系统的综合发展。
MEMS使用气体传感器MEMS工艺在SI基底上的微热板是清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中检测到的气体存在时，传感器的电导率会发生变化。气体浓度越高，传感器的电导率就越高。通过简单的电路，电导率的变化可以转换为相应的输出信号。