1.如图所示,先采用 DCXRD 对(001)晶面 GaAs 样品的(004)衍射面进行ω-2θ扫描,接 下来需要对该样品的(115)衍射面进行ω-2θ扫描,请计算样品台需要转动多少角度,探测 器才能探测到(115)晶面衍射的 X 光?
2.在 GaAs(001)衬底上生长了 AlxGa1-xAs 薄膜,AlGaAs 薄膜处于完全应变状态。采用 DCXRD 进行(004)衍射面的 ω-2θ 扫描测得 GaAs 衬底与 AlGaAs 薄膜的衍射峰,两个衍 射峰的峰间距为 60arcsec,请计算 AlGaAs 的 Al 组分 x。
已知:1°=3600arcsec,GaAs 的 晶格常数 a_GaAs=5.6533Å , AlAs 的晶格常数 a_AlAs=5.6611Å , X 射线波长
λ_Cukα1=1.5405Å,泊松系数 υ_GaAs=υ_AlAs=υ_AlGaAs=0.31。
2.在 GaAs(001)衬底上生长了 AlxGa1-xAs 薄膜,AlGaAs 薄膜处于完全应变状态。采用 DCXRD 进行(004)衍射面的 ω-2θ 扫描测得 GaAs 衬底与 AlGaAs 薄膜的衍射峰,两个衍 射峰的峰间距为 60arcsec,请计算 AlGaAs 的 Al 组分 x。
已知:1°=3600arcsec,GaAs 的 晶格常数 a_GaAs=5.6533Å , AlAs 的晶格常数 a_AlAs=5.6611Å , X 射线波长
λ_Cukα1=1.5405Å,泊松系数 υ_GaAs=υ_AlAs=υ_AlGaAs=0.31。