蔡司双束聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）
而今天所介绍的；“双束电镜” Dual Beam Focused Ion Beam（FIB）是双束聚焦离子束扫描电子显微镜的简称，是在扫描电镜的基础上加装了离子束系统，机械臂（Easy lift）和气体注入系统（GIS）等配件。

蔡司双束扫描电镜双束的主要作用有两个：
1）成像：
把液态金属离子源输出的离子束加速，聚焦之后用来轰击试样表面使其产生二次电子信号，从而得到试样表面电子像（与SEM相似）；
2）加工：
聚焦离子束系统中的离子束是由液态离子源在强电场的作用下拉出带正电荷的离子，再经静电透镜、多级偏转装置最终聚焦而成，从而完成微纳级别的表面形貌处理。如果将化学气体反应系统与物理溅射方式配合使用，就可以达到选择性地剥离金属、氧化硅层或者沉积金属层。