齿轮磨削冷却液挥发的油雾或是齿轮热处理过程中矿物油加热挥发的油烟 , 其实质是悬浮于空气中的微小粒子 , 其粒径一般在 10- 2 ～ 10 2μm之间。对于小粒子净化 , 工业上一般采用吸收法、吸附法、静电法。吸收 ( 附 ) 法占地较大 , 吸收 ( 咐 ) 剂需要补充和再生 , 且需要配套的设施较多因而不适宜齿轮加工车间使用。
齿轮加工车间污染源的特点是污染量小、污染源多 , 污染持续时间长。因此 , 合适的净化方法应是装置占地小 , 安装使用方便 , 结构紧凑 , 净化效率高。静电法被证明是最好的方法之一。