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为何一次性正反面蒸镀1um的复合集流体铝箔难以实现?

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复合集流体铝箔目前的做法有两种:
悬浮镀设备和贴鼔镀设备,进口试验机都是贴鼔镀,国内很多厂商也尝试过贴鼔镀一次蒸镀500-1000nm,但是最终都以失败告终,国内最早的尝试大概在17年前后,贴鼔镀的最大问题就是褶皱,目前单面镀1um褶皱的问题已经攻破,但是第二面的褶皱几乎无法解决,最多打样个数十米,目前真正出产品的还是反复蒸镀的悬浮镀设备,悬浮镀设备20多年前就被美国大力机运用,后续国内多家镀铝设备厂商也都开发出自己特定的悬浮镀设备,多次蒸镀对设备的稳定性要求非常高,依据单蒸发的稳定蒸发量,需要40次才能实现双面各镀1um(厚度是粗略值,主要是方阻达到35-40之间),但是单蒸发的蒸发过程中溅射点是个比较大的弊端,如果换算成双蒸发,理论上蒸镀次数20-25次即可达到要求,事实上双蒸发的确提高了效率,相应的增加蒸发箱的数量,那蒸镀的次数也就相应的减少,如果8蒸发的话,4次蒸镀即可达到要求,如果需要一次出成品,那理论上蒸发的源数应该是32个,也就是正面16组,反面16组,设备的制造成本有所上升,但是效率得到极大改善。


IP属地:江苏1楼2023-03-08 22:26回复