光刻机大小取决于其型号，一般都体积较大，以横冲式和直冲式两类机种来说，它们的长、宽可以达到2米以上。此外，光刻机还配有若干随机附件，如，真空泵、排料装置等，其外形及安装位置也会影响光刻机的总体尺寸。此外，光刻机还可变频调速，实现特定电路板的生产，它可以解决许多IC制造中的成型问题。拓展知识，光刻机可以用来制作各种复杂的电路板，包括模拟电路、数字电路、控制电路等。