求助激光干涉仪的测量方法

激光干涉仪利用激光的位相差原理来测量物体表面的几何形状。它将激光原理用于机械深度测量或微小加工，它利用激光发出的直线光线，传递至要测物体表面，光线由反射镜反射回来，然后由屏幕显示。通过前后的对比，通过对光束的衰减量的测量可以来估算表面的几何形状。激光干涉仪拓展点有，1、可以在超精密机械测量和加工中应用，是目前最小直径测量的有效方法，2、可应用于大规模测量面，如自动激光扫描，3、可实现三维检测，可用于加工之前的尺寸检测，4、可不受表面粗糙度、反射系数及表面颜色影响，测量结果更准确精确，工作效率更高。