扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种应用广泛的高分辨率电子显微技术,它通过扫描样品表面并探测所产生的信号来形成图像。SEM的基本结构包括以下几个部分:电子枪:负责发射电子束。通常采用热阴极或场发射阴极。准直系统:负责将电子束聚焦到极小的大小,以便进行高分辨率的观察。准直系统通常由一组电子透镜和一个精密的扫描线圈组成。样品台:用于支撑待观察的样品,并且能够在加速的电子束下承受高温和高真空环境的影响。检测器:接收和放大样品表面的反射、散射和次级电子等所产生的信号,并转化为电子信号送入图像处理系统。图像处理系统:将从检测器中接收到的信号转换成数字信号并进行处理,将信号转换成可视化的图片。显示器:用于显示图像,已经越来越多地被液晶显示器所取代。总之,SEM是高科技的、专业的仪器,操作时需特别小心谨慎。