老弟啥专业?想去大连理工,学半导体吗?做半导体设备吗?卡脖子的刻蚀机,薄膜沉积设备
赵凯,男,副教授,硕士生导师,等离子体模拟与实验课题组(PSEG)成员 主要从事于半导体设备相关的低气压射频容性耦合等离子体的实验诊断和数值模拟研究。近年来,负责国家自然科学基金青年基金项目1项,博士后科学基金特别资助项目1项,博士科学基金面上项目1项。曾获得“辽宁省优秀博士学位论文奖”、周培源基金会“蔡诗东等离子体物理奖”。在国内外学术期刊上累计发表学术论文20余篇,申请中国/国际发明专利8项,授权4项。利用自主研制的电磁诊断工具首次在低气压甚高频容性放电中观察到非线性驻波效应,并结合非线性电磁模型揭示了其物理机制,相关成果发表于美国物理学会会
赵凯,男,副教授,硕士生导师,等离子体模拟与实验课题组(PSEG)成员 主要从事于半导体设备相关的低气压射频容性耦合等离子体的实验诊断和数值模拟研究。近年来,负责国家自然科学基金青年基金项目1项,博士后科学基金特别资助项目1项,博士科学基金面上项目1项。曾获得“辽宁省优秀博士学位论文奖”、周培源基金会“蔡诗东等离子体物理奖”。在国内外学术期刊上累计发表学术论文20余篇,申请中国/国际发明专利8项,授权4项。利用自主研制的电磁诊断工具首次在低气压甚高频容性放电中观察到非线性驻波效应,并结合非线性电磁模型揭示了其物理机制,相关成果发表于美国物理学会会