空气洁净度的等级

按ISO14644-1《空气洁净度等级划分》（2015），各种要求的粒径D的最大浓度限值Cn可用下式计算：
Cn=(0.1/D)2.08×10N
Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值（pc/m³）。是四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数；
N——空气洁净度等级，数字不超过9，洁净度等级整数之间的中间可以按0.1为最小允许递增量；
D——要求的粒径（μm）；
0.1——常数，其量纲为μm。
当工艺要求粒径不止一个时，相邻两个粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。
空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm-0.5μm，超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。
U descriptor：每立方米空气中包括超微粒子的实测或规定浓度。
M descripor：每立方米空气中实测的或规定的微粒子。
U描述符和M描述符不能规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述