开门迎喜,祝大家龙年大吉!伴随电子产品的发展,例如:智能手机、云计算、人工智能与物联网等新兴技术的
出现,促使半导体市场需求快速增长,其需求也很急切。

对此推荐使用三丰的高精度影像测量机,其长期服务于全球制造业而获得的经验积累,帮助半导体行业上、中、
下游快速的测量需求提供了满意的解决方案。
倒装芯片的检测方案
倒装芯片(Flip chip)被普遍应用在高端物联网设备等电子产品内,同时也是构建智能化产品的基础单元之一。
芯片表面的平整程度将影响其连接效果,大部分的半导体厂商会以倒装主板中心点作为原点,中心线为轴线,
对各测量部位相对于原点的X方向与Y方向的差的绝对值(坐标差)完成评价分析,以便测量坐标差。

其芯片表面凸点较多,线路板布线复杂,采用接触式测量不易完成快速的批量检测,使用一般的非接触式的测量
方法,则是需要对每个测量部位先对焦然后再测量,缺点是耗费的时间太长。
TAF功能高效对应坐标差检测
影像测量机QV Pro的TAF激光自动追踪功能,对于芯片这类非平整表面(同时高度差变化不大)进行扫描的情况下,不需要停顿式对焦,进而大大提升了测量效率。

TAF:激光自动跟踪对焦,工作原理是经过物镜中的同轴激光完成自动对焦,促使Z轴实时追踪到被测物的高度
变化,自动完成高度调整,确保对焦清晰。

表面细微3D形状的高精度测量
另外,在多层基板IC组件的测量内,如果要测量配线的线宽与线距、过孔直径、表面粗糙度等情况下,还可采用
白光干涉仪WLI,利用与工件之间产生的白光干涉,能够完成细微领域的表面分析(粗糙度等)乃至形状
(数微米的不规则)的高精度3D测量。

【倒装芯片IC组件】

蚀刻机-喷淋头测量方案
喷淋头(即Shower Head)是组装在硅晶片干刻蚀设备电极内的装置,其主要工作原理是向反应腔室供应等离子体,表面分布着密集的气体供给孔。每个孔的尺寸将会影响到刻蚀机上所产生的等离子体均匀性。

喷淋头的主要测量项目为表面密集分布的孔的直径、基于基准的坐标位置以及平面度等。测量孔十分的繁多,
一般影像检测时间较长,进而导致测量者工作效率低,很难适用于“半导体行业”的“快”需求。

此情况下可以采用影像测量机的“飞测功能——STREAM模式”,其工作台能够确保无停顿的移动来测量喷头众多
孔尺寸或是异物侵入检测,可以完成优于普通模式的5倍效率的测量,为高效测量需求的行业带来更好的使用体
验。
IGBT模块的检测方案
IGBT(即Insulated Gate Bipolar Transistor的简称)是变频器的核心晶体管。主流的IGBT是半导体零件的集合体,
同时也是新能源汽车的核心部件之一。

此产品的测量一般应要涉及到多个针脚的位置与高度的测量。影像测量仪QV Pro标配的频闪照明,其高效的
对焦动作乃至快速准确的位置测量,十分适合用于此类工件的测量。
在获得准确结果的同时,不管是表面高度测量亦或是边缘对焦,甚至是多点同时对焦都可以轻松实现。
想要了解更多实用知识的伙伴们可在后台留言进行讨论!如果有其他有趣的内容可分享出来一起了解,更多型号
资料可在后台留言获得
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对此推荐使用三丰的高精度影像测量机,其长期服务于全球制造业而获得的经验积累,帮助半导体行业上、中、
下游快速的测量需求提供了满意的解决方案。
倒装芯片的检测方案
倒装芯片(Flip chip)被普遍应用在高端物联网设备等电子产品内,同时也是构建智能化产品的基础单元之一。
芯片表面的平整程度将影响其连接效果,大部分的半导体厂商会以倒装主板中心点作为原点,中心线为轴线,
对各测量部位相对于原点的X方向与Y方向的差的绝对值(坐标差)完成评价分析,以便测量坐标差。

其芯片表面凸点较多,线路板布线复杂,采用接触式测量不易完成快速的批量检测,使用一般的非接触式的测量
方法,则是需要对每个测量部位先对焦然后再测量,缺点是耗费的时间太长。
TAF功能高效对应坐标差检测
影像测量机QV Pro的TAF激光自动追踪功能,对于芯片这类非平整表面(同时高度差变化不大)进行扫描的情况下,不需要停顿式对焦,进而大大提升了测量效率。

TAF:激光自动跟踪对焦,工作原理是经过物镜中的同轴激光完成自动对焦,促使Z轴实时追踪到被测物的高度
变化,自动完成高度调整,确保对焦清晰。

表面细微3D形状的高精度测量
另外,在多层基板IC组件的测量内,如果要测量配线的线宽与线距、过孔直径、表面粗糙度等情况下,还可采用
白光干涉仪WLI,利用与工件之间产生的白光干涉,能够完成细微领域的表面分析(粗糙度等)乃至形状
(数微米的不规则)的高精度3D测量。

【倒装芯片IC组件】

蚀刻机-喷淋头测量方案
喷淋头(即Shower Head)是组装在硅晶片干刻蚀设备电极内的装置,其主要工作原理是向反应腔室供应等离子体,表面分布着密集的气体供给孔。每个孔的尺寸将会影响到刻蚀机上所产生的等离子体均匀性。

喷淋头的主要测量项目为表面密集分布的孔的直径、基于基准的坐标位置以及平面度等。测量孔十分的繁多,
一般影像检测时间较长,进而导致测量者工作效率低,很难适用于“半导体行业”的“快”需求。

此情况下可以采用影像测量机的“飞测功能——STREAM模式”,其工作台能够确保无停顿的移动来测量喷头众多
孔尺寸或是异物侵入检测,可以完成优于普通模式的5倍效率的测量,为高效测量需求的行业带来更好的使用体
验。
IGBT模块的检测方案
IGBT(即Insulated Gate Bipolar Transistor的简称)是变频器的核心晶体管。主流的IGBT是半导体零件的集合体,
同时也是新能源汽车的核心部件之一。

此产品的测量一般应要涉及到多个针脚的位置与高度的测量。影像测量仪QV Pro标配的频闪照明,其高效的
对焦动作乃至快速准确的位置测量,十分适合用于此类工件的测量。
在获得准确结果的同时,不管是表面高度测量亦或是边缘对焦,甚至是多点同时对焦都可以轻松实现。
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