钼靶材的物理性能主要包括以下几点:
高熔点:钼的熔点约为2623°C(或2610°C),这使得钼靶材能够在极端高温环境下保持结构稳定性,是理想的高温工作材料。
热传导率:钼的热传导率较高,约为142.35w/(m·k),有助于在高速镀膜过程中控制靶材的温度,防止过热和结构损坏。
热膨胀系数:钼的热膨胀系数较低,约为4.9×10^-6 /°C(或4.8×10^-6 /°C),这一特性有助于保持材料在高温下的尺寸稳定性。
电阻率:钼的电阻率相对较低,随着温度的升高,电阻率也会发生变化。例如,在0°C时电阻率为5.17×10^-8 Ω·cm,而在800°C和2400°C时分别为24.6×10^-8 Ω·cm和72×10^-8 Ω·cm。
比热:钼的比热在25°C时为242.8 J/(kg·K),这是衡量材料吸热和放热能力的一个重要参数。
硬度:钼的硬度较大,摩氏硬度为5~5.5,这使得钼靶材在制备过程中能够保持较好的机械性能。
此外,钼靶材的密度约为10.23g/cm³,属于高密度材料,同时它还属于顺磁体,在特定温度下具有特定的比磁化系数。这些物理性能使得钼靶材在半导体、涂层材料等领域具有广泛的应用前景。
高熔点:钼的熔点约为2623°C(或2610°C),这使得钼靶材能够在极端高温环境下保持结构稳定性,是理想的高温工作材料。
热传导率:钼的热传导率较高,约为142.35w/(m·k),有助于在高速镀膜过程中控制靶材的温度,防止过热和结构损坏。
热膨胀系数:钼的热膨胀系数较低,约为4.9×10^-6 /°C(或4.8×10^-6 /°C),这一特性有助于保持材料在高温下的尺寸稳定性。
电阻率:钼的电阻率相对较低,随着温度的升高,电阻率也会发生变化。例如,在0°C时电阻率为5.17×10^-8 Ω·cm,而在800°C和2400°C时分别为24.6×10^-8 Ω·cm和72×10^-8 Ω·cm。
比热:钼的比热在25°C时为242.8 J/(kg·K),这是衡量材料吸热和放热能力的一个重要参数。
硬度:钼的硬度较大,摩氏硬度为5~5.5,这使得钼靶材在制备过程中能够保持较好的机械性能。
此外,钼靶材的密度约为10.23g/cm³,属于高密度材料,同时它还属于顺磁体,在特定温度下具有特定的比磁化系数。这些物理性能使得钼靶材在半导体、涂层材料等领域具有广泛的应用前景。