在抛光至粗糙表面测量中，显微测量仪器具有从0.1nm到1mm的测量范围，每种仪器都有其独特的功能和应用范围。

一、光学3D表面轮廓仪
SuperViewW光学3D表面轮廓仪能够测量从超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相对粗糙表面（1mm粗糙度）的三维形貌。
在纳米级表面粗糙度分析中的测量优势：
光学3D表面轮廓仪的特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

在纳米级表面粗糙度分析中，光学3D表面轮廓仪能够测量从超光滑表面到相对粗糙表面的三维形貌，覆盖从0.1nm到1mm的粗糙度范围。
二、共聚焦显微镜
从0.1nm到1mm不同粗糙度的表面，都能测量。
在纳米级表面粗糙度分析中的测量优势：
由于使用了点光源和点探测，共聚焦显微镜具有比传统显微镜更高的轴向（Z轴）分辨率。

共聚焦显微镜具有复杂结构大角度形貌的测量能力，能够测量倾斜角近乎90度的漫反射斜坡面形貌，尤其擅长大坡度、低反射率的粗糙表面形貌测量。
三、台阶仪
台阶仪能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。
在纳米级表面粗糙度分析中的测量优势：
具备透光性的薄膜，光学仪器无法测量获取准确的膜厚数值，而台阶仪测量膜厚不受基材透射率影响，规避光学仪器的弱点。


选择合适的测量技术，取决于包括被测材料的特性、所需的测量精度、测量范围、表面特性以及预算等因素。在某些情况下，也可能需要结合使用多种测量技术，以获得最全面和准确的测量结果。