情况是这样的:1.有台真空腔体(新的不锈钢材质焊接,方形)从大气压抽到0.001pa然后充氮气到90000pa,再破真空到大气压,再抽到0.001pa需要100秒;2.有台真空腔体(新的不锈钢材质焊接,方形)从大气压抽到0.001pa然后充氮气到90000pa,再破真空到大气压,打开腔体一分钟,再抽到0.001pa需要180秒;这两种情况为什么差了80秒?打开腔体后是什么进入腔体内部,导致抽速降低的?这个问题该怎么解决?求大佬帮忙分析下,腔体所在环境如下:千级无尘车间,温度25度左右,湿度55-65%