2023年，中科院微电子所“十四五”规划院评议结果位列信息领域前列；“集成电路制造技术全国重点实验室”获得批准建设。主要科研方向年度重要工作进展与成果如下：
4、创制新型鱼骨形水平GAA和沙漏形Ge沟道垂直GAA器件，相关成果论文被选为EDL封面亮点文章。在国内12吋量产线实现水平GAA器件制造。
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科研项目：
（ 16 ） 面向3nm节点及以下GAA器件HKMG叠层结构及阈值调控关键技术研究, 负责人, 企业委托, 2021-01--2022-12
（ 17 ） 堆叠纳米片围栅CMOS器件及集成技术研究, 负责人, 企业委托, 2021-06--2024-05
