本司自研的定向耦合器更贴合半导体领域应用，在高达 10KW 的功率下仍拥有极高的稳定性，该耦合器的精准采样不仅可以大大提高射频电源面板显示功率的准确性与稳定性，也可以让射频电源将更加准确的实时功率反馈给上位机，从而实现上位机对射频电源输出功率的精准把控。
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