美国是开展超精密加工技术研究最早的国家,也是迄今处于世界领先地位的国家。早在20世纪50年代末,由于航天等尖端技术发展的需要,美国首先发展了金刚石刀具的超精密切削技术,称为SPDT(SinglePoint Diamond Turning)技术,并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床,用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面非球面大型零件等。
美国Union Carbide,也就是联合碳化物公司于1972年研制成功了R-θ方式的非球面创成加工机床。这是一台具有位置反馈功能的双坐标数控车床,可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R,实现非球面的镜面加工。Moore公司于1980年首先开发出了用3个坐标控制的M-18AG非球面加工机床,这种机床可加工直径为356mm的各种非球面金属反射镜。英国Cranfield大学精密工程研究所(CUPE)研制的大型超精密金刚石镜面切削机床,可以加工大型X射线天体望远镜用的非球面反射镜。
20世纪80年代中后期,美国通过能源部“激光核聚变项目”和陆、海、空三军“先进制造技术开发计划”,对超精密金刚石切削机床的开发研究,投入了巨额资金和大量人力,实现了大型零件的超精密加工。如美国劳伦斯·利弗莫尔国家实验室1984年研制出一台大型光学金刚石车床(Large Optics DiamondTurning Machine,LODTM),至今仍代表了超精密加工设备的最高水平,该机床可加工直径为2.1m,重为4.5t的工件。采用高压液体静压导轨,在1.07m×1.12m范围内直线度误差小于0.025μm(在每个溜板上装有标准平尺,通过测量和修正来达到),位移误差不超过0.013μm(用氦屏蔽的激光干涉仪来测量和反馈控制达到),主轴溜板运动偏摆小于0.057〃(通过两路激光干涉仪测量,压电陶瓷修正来实现)。激光测量系统有单独的花岗岩支架系统,不与机床联结。油喷淋冷却系统可将油温控制在(20±0.0025)℃。采用摩擦驱动,运动分辨率达0.005μm。最终可实现加工大型光学零件直径达1.4m,面形精度为 0.025μm,表面粗糙度Ra≤5nm。
美国LODTM大型金刚石车床,代表了超精密加工设备的最高水平
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这是加工的光学零件
美国Union Carbide,也就是联合碳化物公司于1972年研制成功了R-θ方式的非球面创成加工机床。这是一台具有位置反馈功能的双坐标数控车床,可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R,实现非球面的镜面加工。Moore公司于1980年首先开发出了用3个坐标控制的M-18AG非球面加工机床,这种机床可加工直径为356mm的各种非球面金属反射镜。英国Cranfield大学精密工程研究所(CUPE)研制的大型超精密金刚石镜面切削机床,可以加工大型X射线天体望远镜用的非球面反射镜。
20世纪80年代中后期,美国通过能源部“激光核聚变项目”和陆、海、空三军“先进制造技术开发计划”,对超精密金刚石切削机床的开发研究,投入了巨额资金和大量人力,实现了大型零件的超精密加工。如美国劳伦斯·利弗莫尔国家实验室1984年研制出一台大型光学金刚石车床(Large Optics DiamondTurning Machine,LODTM),至今仍代表了超精密加工设备的最高水平,该机床可加工直径为2.1m,重为4.5t的工件。采用高压液体静压导轨,在1.07m×1.12m范围内直线度误差小于0.025μm(在每个溜板上装有标准平尺,通过测量和修正来达到),位移误差不超过0.013μm(用氦屏蔽的激光干涉仪来测量和反馈控制达到),主轴溜板运动偏摆小于0.057〃(通过两路激光干涉仪测量,压电陶瓷修正来实现)。激光测量系统有单独的花岗岩支架系统,不与机床联结。油喷淋冷却系统可将油温控制在(20±0.0025)℃。采用摩擦驱动,运动分辨率达0.005μm。最终可实现加工大型光学零件直径达1.4m,面形精度为 0.025μm,表面粗糙度Ra≤5nm。
美国LODTM大型金刚石车床,代表了超精密加工设备的最高水平
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这是加工的光学零件